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LCY 在半導體材料領域深耕多年,深知先進封裝製程中每一道清洗工序都攸關成品良率與晶片可靠度,因此研發能夠橫跨前段、後段至先進封裝的完整濕製程材料,以自主技術打造具備高效清洗力、高選擇性與高介面相容性的解決方案。

高效低耗的先進製程優勢

透過高效清洗力、高選擇性與卓越介面相容性的化學設計,李長榮自主研發半導體製程濕式配方,涵蓋蝕刻液與洗劑兩大核心應用。

可精準移除雷射脫膠、暫時鍵合/解鍵合、RIE/灰化等製程殘留物,同時避免損傷晶圓、微凸塊與關鍵金屬層,有效維持表面潔淨度與結構完整性。

此外更具備穩定可控的反應速率與高選擇比,有效抑制側蝕風險,確保處理後表面潔淨,為後續二次加工與先進封裝製程建立可靠介面,適用於 WLP、PLP 及 2.5D/3D IC 等應用。


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應用於先進封裝之關鍵特性

  • 聚矽氧烷
  • 聚甲基丙烯酸甲酯
  • 聚對苯二甲酸乙二醇酯
  • 環氧樹脂
  • 聚醯亞胺
  • 砷化鎵晶圓
  • 矽晶圓
  • 不鏽鋼
  • 玻璃基板
  • N-甲基吡咯烷酮
  • 四甲基氫氧化銨
  • 二甲基亞碸

配方洗劑解決方案


1. 先進封裝

ESV系列專為先進封裝而生,具備強效清洗能力與優異介面保護性,能應對暫時鍵合/解鍵合、雷射脫膠等高挑戰製程,並廣泛適用於 WLP、PLP 與 2.5D/3D IC 堆疊架構。搭配 SR 系列凸塊蝕刻液,LCY 形成完整的先進封裝濕製程解決方案,成為新世代高效能晶片的關鍵技術後盾。


暫時鍵合與解鍵合殘留物清洗

  • ESV-100 系列
  • ESV-300 系列
  • ESV-400 系列


凸塊蝕刻液

  • SR 系列



2 .前段製程

LCY的LMG 系列以高選擇性蝕刻為核心,能精準去除目標材料而不傷害基材,為後續製程打造穩定且一致的界面品質,確保晶圓處理在初始階段就達到最佳條件。


選擇性蝕刻液

  • LMG 系列



3 .後段製程

在反應性離子蝕刻(RIE)、灰化或 Bulk PR 處理後,LTW 與 LMG 系列能快速清除難以處理的殘留物,同時維持金屬與介電層完整性,順利銜接進入更精密的封裝流程。


Bulk PR 與反應性離子蝕刻(RIE) / 灰化殘留物清除

  • LTW 系列
  • LMG 系列

跨製程整合應用方案

LCY以材料創新與製程理解為核心,打造出兼具效率、可靠度與永續性的濕製程解決方案,並將持續成為先進封裝發展中的重要推動者,與全球半導體客戶共同邁向更高效、更精準、更具永續價值的下一世代製程。


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產品規格

牌號產品線類型應用類別
ESV洗劑 TBDB 移除劑濕式化學品、濕式清洗劑、剝離清洗劑、暫時鍵合剝離去除劑、黏著層去除劑、離型層去除劑、殘膠去除劑、雷射剝離殘膠清洗、半導體先進封裝 FOWLP、FOPLP、TSV、CoWoS、Power chip、HBM和異質整合等製程中去除鍵合殘膠
IBC洗劑 助焊劑清潔劑濕式化學品、濕式清洗劑、助焊劑清潔劑、去助焊劑劑、除助焊劑劑、焊錫殘留物去除劑、Flip Chip、BGA和CSP 封裝後及 Underfill 前,清潔焊球或凸塊接合後的助焊劑殘留
LTW洗劑灰化殘留物清除濕式化學品、濕式清洗劑、去光阻液、剝離液和蝕刻後殘膠去除劑
SR蝕刻液凸塊蝕刻液Fan-Out、2.5D和3D IC 蝕刻微凸塊(Micro-bump)以控制尺寸,確保堆疊互連精度
LMG蝕刻液選擇性蝕刻液多晶矽蝕刻液

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