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電子材料

半導體製程中產生的化學廢棄物,如何回收再利用,達到淨零減碳目標

2024-04-14

「半導體」是透過將晶圓片原料,經由多道光學顯影、蝕刻、薄膜沉積等步驟製造而成,廣泛應用於資訊通訊、工業儀器、太空運輸等領域中,是生活必不可少重要零組件。


在繁複的半導體製造過程中,同時也產生許多化學廢棄物,如有機廢液、酸性廢氣等,如何管理、降低半導體製程化學廢棄物是現今產業共同努力的目標。


李長榮(以下簡稱 LCY)透過全球首創的「EIPA雙循環機制」,幫助半導體產業降低碳排、減輕環境負擔,打造經濟與環境的永續共榮。


半導體製程的先進程度與化學品用量息息相關

在半導體產業中,常見使用的化學品為「電子級異丙醇」,多用於 IC、TFT-LCD、LED 及 PV 的清洗製程,對於去除水痕與粒子有顯著效果,是影響成果品質的關鍵化學品。


隨著半導體技術越來越高階,對於晶圓的純度、潔淨度要求也更為嚴苛,EIPA的使用量也隨之增加,然而半導體產業在考量導入分流管理技術並重布回收管線工程的難度,與法令對廢棄物回收/運輸的繁複規範後,多採焚燒處理,不僅製造大量二氧化碳,亦無法有效循環可用資源。


首創「EIPA 雙循環回收」,減廢、減碳提升產業綠色競爭力

為了減少地球資源耗用、降低對環境負擔,同時支持產業良性發展,LCY 經過多年的研發以及與客戶雙向溝通,改良傳統廢液回收處理方式,創造「EIPA 雙循環回收」模式,達到經濟與環境共好的成果。


LCY透過回收客戶製程中的異丙醇廢液,進一步純化回到同等級的電子級異丙醇,達成第一個「化學品循環」;第二道「水循環」則將廢液中的水完全回收,提供工廠內部重複使用,達到零液體排放,有效運用資源。


綠色製造是現今科技產業關鍵的營運策略之一,半導體廢棄物管理、水資源管理等半導體產業化學污染議題,更是備受矚目的焦點。


自 2015 年開發新技術至今,LCY 已達到每月7500~10,000噸廢液回收的能力,「EIPA雙循環模式」,將廢液精製再利用,解決燃燒廢棄物所產生的大量碳排放問題,並降低一次性使用的石化資源枯竭危機,推動產業供應鏈綠色轉型,與客戶共同打造企業綠色競爭力。


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